DIN 50453-3-2001 半导体技术试验.蚀刻混合剂浸蚀率测定.第3部分:铝.测重法
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时间:2024-05-08 04:43:39
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【英文标准名称】:Testingofmaterialsforsemiconductortechnology-Determinationofetchratesofetchingmixtures-Part3:Aluminium,gravimetricmethod
【原文标准名称】:半导体技术试验.蚀刻混合剂浸蚀率测定.第3部分:铝.测重法
【标准号】:DIN50453-3-2001
【标准状态】:作废
【国别】:德国
【发布日期】:2001-04
【实施或试行日期】:
【发布单位】:德国标准化学会(DIN)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:混合物;蚀刻;半导体工程;重量分析的;腐蚀混合物;腐蚀速度;快速方法;试验;材料;半导体工艺;材料试验;铝;重量分析
【英文主题词】:Aluminium;Etchmixtures;Etchrates;Etching;Gravimetric;Gravimetricanalysis;Materials;Materialstesting;Mixtures;Rapidmethod;Semiconductorengineering;Semiconductortechnology;Testing
【摘要】:Thedocumentspecifiesthetestmethodforthedeterminationofetchratesofetchmixturesatalumniumsubstrates.Itsupplementsthechemicalanalysiswhichismoreexpensiveanddoesnotgiveinformationonetchcharacteristicsoftheetchmixtures.
【中国标准分类号】:H82
【国际标准分类号】:29_045
【页数】:4P;A4
【正文语种】:德语
【原文标准名称】:半导体技术试验.蚀刻混合剂浸蚀率测定.第3部分:铝.测重法
【标准号】:DIN50453-3-2001
【标准状态】:作废
【国别】:德国
【发布日期】:2001-04
【实施或试行日期】:
【发布单位】:德国标准化学会(DIN)
【起草单位】:
【标准类型】:()
【标准水平】:()
【中文主题词】:混合物;蚀刻;半导体工程;重量分析的;腐蚀混合物;腐蚀速度;快速方法;试验;材料;半导体工艺;材料试验;铝;重量分析
【英文主题词】:Aluminium;Etchmixtures;Etchrates;Etching;Gravimetric;Gravimetricanalysis;Materials;Materialstesting;Mixtures;Rapidmethod;Semiconductorengineering;Semiconductortechnology;Testing
【摘要】:Thedocumentspecifiesthetestmethodforthedeterminationofetchratesofetchmixturesatalumniumsubstrates.Itsupplementsthechemicalanalysiswhichismoreexpensiveanddoesnotgiveinformationonetchcharacteristicsoftheetchmixtures.
【中国标准分类号】:H82
【国际标准分类号】:29_045
【页数】:4P;A4
【正文语种】:德语
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